是一種實(shí)驗(yàn)設(shè)備,適用于金屬、納米、單晶硅、多晶硅、電池等的擴(kuò)散焊接以及真空氣體保護(hù)下，氣氛熱處理的加熱設(shè)備鉬絲爐、箱式氣氛爐、井式氣氛爐、真空管式爐用于材料或化學(xué)實(shí)驗(yàn)室，在真空或氣氛狀態(tài)下燒結(jié)各種新材料樣品。
爐膛采用莫來石聚輕磚砌筑，爐膛內(nèi)上下用碳化硅棚板，爐內(nèi)溫度是加熱元件在加熱過程中經(jīng)過碳化硅棚板傳導(dǎo)（暗火加熱），溫度更均勻。爐殼密封。為提高密封墊的使用壽命在爐門口設(shè)有循環(huán)水冷套以降低密封處的溫度。進(jìn)氣設(shè)爐膛底部，經(jīng)加熱腔預(yù)熱后分多處進(jìn)入爐內(nèi)，排氣經(jīng)爐頂后部排出。保證爐內(nèi)氣氛均勻，減小爐內(nèi)溫差。氣路上裝有氣體流量計(jì)，用于正常使用控制氣氛流量。
電氣部分采用與爐體一體化結(jié)構(gòu)，整個(gè)電氣元件安裝在爐體底部的一側(cè)，結(jié)構(gòu)緊湊、占用空間小。
箱式氣氛爐經(jīng)過一段時(shí)間的使用后,爐堂內(nèi)會(huì)留下高溫反應(yīng)時(shí)的雜質(zhì)，所以需要定期的對(duì)箱式氣氛爐進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)! 箱式氣氛爐保養(yǎng)主要是清洗爐堂，清洗爐堂主要有以下二種方法:
1、用保護(hù)氣體趕出爐膛內(nèi)空氣法：
（1）保護(hù)氣體一般應(yīng)在電爐升溫前通入爐內(nèi)；
（2）保護(hù)氣體可通過上、下、后三個(gè)洗爐口通入，應(yīng)將排氣口的針閥開至*大，以利于爐內(nèi)空氣盡快排出；
（3）一般向爐內(nèi)通入爐膛容積10倍左右的保護(hù)氣體，可使?fàn)t內(nèi)氧濃度降至10ppm左右；
（4）當(dāng)爐內(nèi)氧濃度符合產(chǎn)品工藝要求時(shí)，可將排氣口的針閥關(guān)小，以節(jié)約保護(hù)氣,關(guān)閉洗爐口,由進(jìn)氣口通過流量計(jì)進(jìn)入；
（5）在電爐使用過程中，爐膛內(nèi)必須維持正壓，以防爐外空氣進(jìn)入爐膛；
2、用真空泵預(yù)抽真空法：
（1）把前面一個(gè)出氣嘴與真空用軟管連接起來;
（2）對(duì)爐腔進(jìn)行預(yù)抽真空;
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