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膜厚檢測(cè)儀
簡(jiǎn)要描述:

膜厚檢測(cè)儀
快速測(cè)量,僅需1-2s即可完成一次測(cè)量
大范圍膜厚測(cè)量,可測(cè)量膜厚范圍從15nm-70μm
常規(guī)操作只需點(diǎn)擊一個(gè)按鈕即可運(yùn)行,操作簡(jiǎn)便
適用于工業(yè)現(xiàn)場(chǎng),穩(wěn)定可靠
能夠滿(mǎn)足膜厚的常規(guī)測(cè)量,經(jīng)濟(jì)實(shí)用

  • 產(chǎn)品型號(hào):PM100-SE
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-12-04
  • 訪  問(wèn)  量:2276

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域化工
快速測(cè)量最大典型12寸晶圓(即直徑300mm)膜厚測(cè)量范圍15nm-75μm (對(duì)Si上的SiO2樣品)
膜層數(shù)目1-4層膜厚測(cè)量重復(fù)性0.1nm(對(duì)Si上100nm的SiO2樣品)
準(zhǔn)確度2nm或0.4%(對(duì)Si上的SiO2樣品)

膜厚檢測(cè)儀

產(chǎn)品介紹

快速測(cè)量,僅需1-2s即可完成一次測(cè)量
大范圍膜厚測(cè)量,可測(cè)量膜厚范圍從15nm-70μm
常規(guī)操作只需點(diǎn)擊一個(gè)按鈕即可運(yùn)行,操作簡(jiǎn)便
適用于工業(yè)現(xiàn)場(chǎng),穩(wěn)定可靠
能夠滿(mǎn)足膜厚的常規(guī)測(cè)量,經(jīng)濟(jì)實(shí)用

產(chǎn)品參數(shù)

快速測(cè)量:最大典型12寸晶圓(即直徑300mm)
膜厚測(cè)量范圍:15nm-75μm (對(duì)Si上的SiO2樣品)
膜層數(shù)目:1-4層
膜厚測(cè)量重復(fù)性:0.1nm(對(duì)Si上100nm的SiO2樣品)
準(zhǔn)確度:2nm或0.4%(對(duì)Si上的SiO2樣品)

膜厚測(cè)試儀,分為手持式和臺(tái)式二種,手持式又有磁感應(yīng)鍍層測(cè)厚儀,電渦流鍍層測(cè)厚儀,熒光X射線(xiàn)儀鍍層測(cè)厚儀。手持式的磁感應(yīng)原理時(shí),利用從測(cè)頭經(jīng)過(guò)非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小,來(lái)測(cè)定覆層厚度。也可以測(cè)定與之對(duì)應(yīng)的磁阻的大小,來(lái)表示其覆層厚度。
臺(tái)式的熒光X射線(xiàn)膜厚測(cè)試儀,是通過(guò)一次X射線(xiàn)穿透金屬元素樣品時(shí)·產(chǎn)生低能量的光子,俗稱(chēng)為二次熒光,,在通過(guò)計(jì)算二次熒光的能量來(lái)計(jì)算厚度值。

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