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產(chǎn)品分類(lèi)CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 |
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快速測(cè)量 | 最大典型12寸晶圓(即直徑300mm) | 膜厚測(cè)量范圍 | 15nm-75μm (對(duì)Si上的SiO2樣品) |
膜層數(shù)目 | 1-4層 | 膜厚測(cè)量重復(fù)性 | 0.1nm(對(duì)Si上100nm的SiO2樣品) |
準(zhǔn)確度 | 2nm或0.4%(對(duì)Si上的SiO2樣品) |
膜厚檢測(cè)儀
產(chǎn)品介紹
快速測(cè)量,僅需1-2s即可完成一次測(cè)量
大范圍膜厚測(cè)量,可測(cè)量膜厚范圍從15nm-70μm
常規(guī)操作只需點(diǎn)擊一個(gè)按鈕即可運(yùn)行,操作簡(jiǎn)便
適用于工業(yè)現(xiàn)場(chǎng),穩(wěn)定可靠
能夠滿(mǎn)足膜厚的常規(guī)測(cè)量,經(jīng)濟(jì)實(shí)用
產(chǎn)品參數(shù)
快速測(cè)量:最大典型12寸晶圓(即直徑300mm)
膜厚測(cè)量范圍:15nm-75μm (對(duì)Si上的SiO2樣品)
膜層數(shù)目:1-4層
膜厚測(cè)量重復(fù)性:0.1nm(對(duì)Si上100nm的SiO2樣品)
準(zhǔn)確度:2nm或0.4%(對(duì)Si上的SiO2樣品)
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